质量趋势预测体

基于 LSTM 神经网络与历史数据。在半导体制造中，提前 7 天预测晶圆缺陷率（准确率＞85%），通过工艺参数调整使良率提升 5%。其 AutoML 技术可自动优化模型参数，适应产品迭代与工艺变化，减少人工干预